申请号/专利号: 95105687 提供一种对铜的浸蚀速度快、浸蚀后铜的表面不易氧化的过硫酸盐型浸蚀液。该浸蚀液系在含过硫酸盐的水溶液中添加选自咪唑、咪唑衍生物、吡啶衍生物、三嗪和三嗪衍生物中的至少一种而成。
申请日: | 1995年06月28日 |
公开日: | 1996年02月28日 |
授权公告日: | 2002年01月30日 |
申请人/专利权人: | 美克株式会社 |
申请人地址: | 日本兵库县 |
发明设计人: | 中川登志子 |
专利代理机构: | 上海专利商标事务所 |
代理人: | 林蕴和 |
专利类型: | 发明专利 |
分类号: | C23F1/18 |
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